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紫外刻劃光柵母版及二代版衍射特性的模擬與分析(PDF)

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    軟件評級: ★★★ 開 發(fā) 商: Frank
    本月下載: 軟件類別: 國產(chǎn)軟件
    軟件授權(quán): 免費版 軟件語言: 英文
    運行平臺: Win9x/NT/2000/XP/2003 更新時間: 2011年12月15日
紫外刻劃光柵母版及二代版衍射特性的模擬與分析(PDF)

內(nèi)容介紹

運用微分理論對刻線密度為1200 lp/mm的紫外刻劃光柵母版及其二代復(fù)制版的衍射特性做了模擬,,指出了二者之間存在的差異,,并與測試結(jié)果做了對照,。數(shù)值模擬表明,,紫外刻劃光柵二代復(fù)制版的衍射特性與其母版略有不同,,原因是光柵槽形發(fā)生了改變,分別給出了采用多項式擬合槽形函數(shù)和傅里葉級數(shù)擬合槽形函數(shù)的方法,。此理論分析方法為澄清光柵復(fù)制工藝中的爭議完善翻版技術(shù)以及尋找提高紫外光柵衍射效率的途徑提供了很好的理論參考依據(jù),。

解壓密碼:shcjtec.com

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